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Deutschland und die Vereinigten Staaten sind die führenden Exporteure von Tellurhexafluorid und entfallen auf den Großteil der weltweiten Lieferungen, während Südkorea, Japan und Taiwan die wichtigsten Importeure sind, angetrieben durch die Nachfrage der Halbleiterherstellung. Die Importe durch ostasiatische Elektronikzentren sind in den letzten drei Jahren stabil geblieben, mit einer moderaten Zunahme, die sich mit den konstanten Preisen für Tellurhexafluorid und den stetigen Auslastungsraten der Fertigungsstätten (Fabs) deckt.
Tellurhexafluorid ist ein farbloses, hochflüchtiges Gas bei Raumtemperatur mit einem stechenden, unangenehmen Geruch; es kondensiert bei Temperaturen unter −38 °C zu einer farblosen Flüssigkeit (Schmelzpunkt) und siedet bei −38 °C (sublimiert leicht). Es ist eine anorganische molekulare Verbindung und eines der höchsten Fluoride des Tellurs. Hauptsächlich wird es als Ausgangsstoff bei der Synthese tellurhaltiger Materialien eingesetzt und dient als wichtiger Zwischenprodukt bei der Herstellung hochreiner Tellurschichten für Halbleiteranwendungen sowie bei der Darstellung weiterer Tellurfluoride und -oxyfluoride. Zu seinen wichtigsten Anwendungsgebieten zählen die Herstellung elektronischer Materialien – insbesondere im Rahmen von chemischen Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) für tellurbasierte Halbleiter – sowie spezialisierte Forschung in der anorganischen Fluorchemie.
Tellurhexafluorid ist ein farbloses Gas mit einem widerlichen Geruch. Es ist bei Einatmung und Hautresorption hochgiftig. Bei Erhitzung auf hohe Temperaturen kann es giftige Fluor- und Tellurdämpfe freisetzen. Es ist schwerer als Luft. Bei längerer Einwirkung von Feuer oder starker Hitze können die Behälter heftig bersten und wie Raketen abheben. Es reagiert mit Wasser unter Bildung giftiger Dämpfe.
Diese Chemikalie ist in Feinchemikalien enthalten. Erfahren Sie mehr darüber, was Tellurhexafluorid ist, sowie über die SDS-Informationen von Tellurhexafluorid.
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