텔루륨 헥사플루오라이드

텔루륨 헥사플루오라이드는 실온에서 무색이며 고휘발성인 기체로, 자극적이고 불쾌한 냄새가 난다. 이 화합물은 −38 °C 이하에서 무색 액체로 응축되며, 융점은 −38 °C이고, 쉽게 승화한다(비점도 −38 °C). 이는 무기 분자 화합물로, 텔루륨의 최고 산화 상태를 갖는 플루오라이드 중 하나이다. 주로 텔루륨 함유 물질 합성의 전구체로서 사용되며, 반도체 응용 분야에서 고품질 텔루륨 박막 제조 및 기타 텔루륨 플루오라이드 및 옥시플루오라이드 제조를 위한 핵심 중간체 역할을 한다. 주요 응용 분야는 전자재료 제조—특히 텔루륨 기반 반도체의 화학 기상 증착(CVD) 공정—과 무기 플루오린 화학 분야의 특수 연구에 있다.


테루늄 헥사플루오라이드는 무색의 기체로, 역겨운 냄새가 난다. 흡입 및 피부 흡수를 통해 매우 독성이 강하다. 고온으로 가열될 경우 유독한 플루오르화물 및 테루늄 증기를 방출할 수 있다. 공기보다 밀도가 크다. 화재나 강한 열에 장시간 노출되면 용기가 폭발적으로 파열되어 로켓처럼 튀어나갈 수 있다. 물과 반응하면 유독한 증기를 발생시킨다.

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