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ドイツおよびアメリカ合衆国は六フッ化テルルの主要な輸出国であり、世界中の出荷量の大部分を占めています。一方、韓国、日本、台湾は、半導体製造需要を背景にした主要な輸入国です。東アジアの電子機器産業拠点における輸入量は過去3年間で安定しており、六フッ化テルルの価格が安定し、ファブの稼働率も一貫して高いことから、緩やかな成長が続いています。
六フッ化テルルは、室温で無色・高揮発性の気体であり、刺激的で不快な臭いがする。−38 ℃以下で無色の液体に凝縮し（融点）、−38 ℃で沸騰する（容易に昇華する）。これは無機分子化合物であり、テルルのフッ化物の中でも最もフッ素含有率の高いものの一つである。主にテルル含有材料の合成における前駆体として用いられ、高純度テルル薄膜（半導体応用向け）やその他のテルルフッ化物・オキシフッ化物の製造における重要な中間体として機能する。主な応用分野には、電子材料の製造——特にテルル系半導体の化学気相成長（CVD）プロセス——および無機フッ素化学に関する専門的研究が含まれる。
テルルヘキサフルオリドは、無色の気体で、不快な臭いがする。吸入および皮膚吸収により非常に毒性がある。高温に加熱すると、有毒なフッ素およびテルルの煙を放出することがある。空気より比重が大きい。長時間の火災や激しい熱にさらされると、容器が急激に破裂し、ロケットのように飛散するおそれがある。水と反応して有毒な蒸気を発生させる。
この化学物質はファインケミカルに含まれています。六フッ化テルルとは何か、および六フッ化テルルのSDS情報について詳しくご覧ください。
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