삼염화붕소 (BCl₃)

삼염화붕소 (BCl₃)는 실온에서 무색의 발연성 액체로, 자극적이고 매운 냄새를 가지며 휘발성이 매우 높다. 끓는점은 12.6 °C이고, 녹는점은 –107.3 °C이다. 이는 무기 공유 화합물이며 강력한 루이스 산이다. 주로 촉매 및 화학 합성의 중간체로 사용되며, 고순도 붕소 함유 물질(예: 원소 붕소, 붕소 질화물, 붕소 규산염 유리 등)의 제조에 활용된다. 주요 응용 분야는 반도체 제조(도판트 공급원으로서), 광섬유 케이블 생산, 전자재료 및 내화재료용 특수 무기 화합물의 합성 등이다.

Boron trichloride can be used to produce high purity boron, catalyst in organic synthesis, fluxing agen for decomposition of silicate, boronizing steel, produce Boron nitride and borane compound. Boron trichloride is mainly used in the diffusion, ion implantation, the dry etching process for producing silicon semiconductor devices and integrated circuits in electronic industry. Boron trichloride is Used as a semiconductor silicon doping source. Boron trichloride is Used for the preparation of fatty acid methyl ester and for ester exchange reaction of triglyceride.

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