독일, 미국, 일본은 2023–2024년 셀레늄 헥사플루오라이드(CAS 7783-79-1)의 주요 수출국으로, 전 세계 수출 가치의 65% 이상을 차지한다. 주요 수입국으로는 반도체 및 첨단 소재 제조 수요에 힘입어 한국, 대만, 네덜란드가 있다. 거래량은 2022년 이래로 비교적 안정적으로 유지되어 왔으며, 아시아 지역의 수입 증가세는 고순도 특수 가스 공급망이 긴축되면서 셀레늄 헥사플루오라이드 가격 상승 압력과 맞물려 서서히 성장하고 있다.
셀레늄 헥사플루오라이드는 실온에서 무색, 비가연성, 고휘발성 기체로, 자극적인 냄새를 지닌다. 이는 무기 플루오르화 화합물에 속하며 칼코겐 할라이드 계열에 포함된다. 주로 반도체 제조 공정에서 플루오르화제 및 에칭제로 사용되며, 실리콘 기반 재료 및 마이크로전기기계시스템(MEMS)의 플라즈마 에칭 공정에 활용된다. 또한 셀레늄 함유 플루오로폴리머 및 특수 무기 플루오르화물 합성 과정에서 전구체로 기능한다. 그 응용 분야는 전자소자 제조 및 첨단 소재 연구에 집중되어 있다.
Selenium hexafluoride is used as a gaseous electric insulator(146). It may be prepared by passing gaseous fluorine overfinely divided selenium in a copper vessel. Industrial seleniumexposure is common for makers of arc light electrodes,electric rectifiers, and semiconductors.
무색 기체.
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