Hexafluorure de sélénium

L'hexafluorure de sélénium est un gaz incolore, non inflammable et très volatil à température ambiante, possédant une odeur piquante et irritante. Il s'agit d'un composé fluoré inorganique appartenant à la classe des halogénures de chalcogène. Principalement utilisé comme agent fluorant et comme produit de gravure dans la fabrication de semi-conducteurs, il intervient dans les procédés de gravure plasma pour les matériaux à base de silicium et les systèmes microélectromécaniques (MEMS). Il sert également de précurseur dans la synthèse de fluoropolymères contenant du sélénium et de fluorures inorganiques spécialisés. Ses applications sont principalement concentrées dans la fabrication électronique et la recherche avancée sur les matériaux.

Selenium hexafluoride is used as a gaseous electric insulator(146). It may be prepared by passing gaseous fluorine overfinely divided selenium in a copper vessel. Industrial seleniumexposure is common for makers of arc light electrodes,electric rectifiers, and semiconductors.
Gaz incolore.

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