六フッ化セレン

六フッ化セレンは、無色・不燃性・常温で高揮発性の気体であり、刺激臭を伴う。これは無機フッ素化合物であり、カルコゲンハライド類に分類される。主にフッ素化剤およびエッチング剤として半導体製造工程で用いられ、シリコン系材料およびマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）のプラズマエッチングプロセスに使用される。また、セレン含有フッポリマーおよび特殊無機フッ化物の合成における前駆体としても機能する。その応用は、電子デバイスの製造および先端材料研究に集中している。

Selenium hexafluoride is used as a gaseous electric insulator(146). It may be prepared by passing gaseous fluorine overfinely divided selenium in a copper vessel. Industrial seleniumexposure is common for makers of arc light electrodes,electric rectifiers, and semiconductors.
無色の気体。

この化学物質はファインケミカルに含まれています。六フッ化セレンとは何か、および六フッ化セレンのSDS情報について詳しくご覧ください。